比较法真空标准漏孔校准方法研究

赵澜, 冯焱, 成永军, 张涤新, 杨长青, 李莉, 徐婕

赵澜, 冯焱, 成永军, 等. 比较法真空标准漏孔校准方法研究[J]. 真空与低温, 2013, 19(4): 228-232. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2013.04.008
引用本文: 赵澜, 冯焱, 成永军, 等. 比较法真空标准漏孔校准方法研究[J]. 真空与低温, 2013, 19(4): 228-232. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2013.04.008
ZHAO Lan, FENG Yan, CHENG Yong-jun, et al. SYUDY ON COMPARISON CALIBRATION METHOD OF VACUUM REFERENCE LEAK[J]. VACUUM AND CRYOGENICS, 2013, 19(4): 228-232. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2013.04.008
Citation: ZHAO Lan, FENG Yan, CHENG Yong-jun, et al. SYUDY ON COMPARISON CALIBRATION METHOD OF VACUUM REFERENCE LEAK[J]. VACUUM AND CRYOGENICS, 2013, 19(4): 228-232. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2013.04.008

比较法真空标准漏孔校准方法研究

详细信息
    作者简介:

    赵澜(1977-),男,甘肃省武山县人,博士,高级工程师,从事真空计量学研究工作。

  • 中图分类号: TB771

SYUDY ON COMPARISON CALIBRATION METHOD OF VACUUM REFERENCE LEAK

  • 摘要: 比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计提供的标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。
    Abstract: Comparison calibration method is compared ion currents using quadruple mass spectrometer between standard gas flow by provided gas flowmeter and leak by provided calibrated vacuum reference leak. The leakage is gained. The calibration method,apparatus principle,calibration results are introduced. The influence factor for reducing measurement uncertainty is provided.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-08

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