压力对电弧源喷射微粒密度及膜沉积率的影响

压力对电弧源喷射微粒密度及膜沉积率的影响

摘要: 在2.7 Pa至2.7×10^-2Pa氮压力范围,测量了不同压力下电弧源喷射的微粒密度及薄膜沉积速率的变化。随压力升高,微粒密度及膜沉积速率下降。利用AES和SIMS对不同压力下形成的TiN膜及工作后的阴极表面进行了深度剖面分析。最后对实验结果进行了讨论。

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