摘要: 实用超高真空校准装置应结构紧凑、操作简便、价格便宜.提出了一种新的设想,除采用流行的连续流压力衰减法外,介绍了两种全新结构.一是减压定压型微流量计,工作液体使用硅油,预期流量测量范围可达10^-3—10^-7帕·米³/秒.二是小孔拓宽结构,对其可行性进行了探讨.所述结构,可根据实际需要组合成特定的超高真空校准装置.