溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以使返油率降低99％.而且运转方便.使用过程中没有粉尘,不需要前处理工序。