摘要: 热辐射球式钛升华泵作为无油污染的高真空抽气方法,目前已被广泛采用。为了克服泵内钛储量所限而影响泵的工作寿命,介绍了热辐射球式钛升华泵钛升华率的自动控制方法。使泵工作在最经济合理的状态下,达到延长泵的工作寿命的目的。