摘要: 因子分析法是利用各种谱峰的峰形进行成分定量分析的方法,广泛应用于多种成分的混合物、化合物的谱峰分析。通过对因子分析法（FA）的数学过程及其物理意义的进一步分析,对应用FA对氮化钛的俄歇电子谱（AES）叠峰进行谱蜂分解和定量计算进行了研究。由于缺乏纯N谱峰,采用化合物（Si₃N₄、BN）中的N谱和纯Ti谱作为TiN_x谱中N和Ti的标准谱峰。为解决化学效应影响定量计算的问题,提出了两次迭代的分析方法。这种分析是以线性分析为基础的非线性的处理过程。应用FA法的两次迭代分析获得了较好的N/Ti原子比,分解了Ti和N的叠峰,分解的峰形叠加得到的峰形与原峰形拟合的很好。