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电弧源喷射微粒及膜沉积率空间分布

    摘要
  • 摘要: 测量了冷阴极电弧源镀膜时膜沉积率及源喷出的微粒空间分布。为了获得最大沉积率及减少膜层中微粒,给出了工件最佳工作位置选择。

     

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