实用超高真空比对校准系统

实用超高真空比对校准系统

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李正海. 实用超高真空比对校准系统[J]. 真空与低温, 2009, 15(1): 45-47.

引用本文:

李正海. 实用超高真空比对校准系统[J]. 真空与低温, 2009, 15(1): 45-47.

LI Zheng-hai. COMPARISON METHOD CALIBRATION APPARATUS OF ULTRA-HIGH VACUMM[J]. VACUUM AND CRYOGENICS, 2009, 15(1): 45-47.

Citation:

LI Zheng-hai. COMPARISON METHOD CALIBRATION APPARATUS OF ULTRA-HIGH VACUMM[J]. VACUUM AND CRYOGENICS, 2009, 15(1): 45-47.

实用超高真空比对校准系统

李正海

兰州物理研究所, 甘肃兰州 730000

详细信息

作者简介:
李正海（1952-），男，陕西省子长县人，高级工程师，从事真空规的测量与校准技术研究。

中图分类号: TB77
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出版历程
- 收稿日期: 2008-12-01

COMPARISON METHOD CALIBRATION APPARATUS OF ULTRA-HIGH VACUMM

LI Zheng-hai

Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China

摘要: 介绍了一种实用超高真空相对比对校准系统。该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,可以满足在10^-7～10^-5Pa范围内超高真空规的比对校准。
- 超高真空规 ;
- 比对 ;
- 校准
Abstract: A kind of comparison method calibration apparatus of ultra-high vacuum is introduced,which has the advantages of simplicity,practicality and small uncertainty.This apparatus can calibrate ultra-high vacuum gauge in the 10^-7～10^-5 Pa range.
- ultrahigh vacuum gauge /
- compar son /
- calibration

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