摘要: 有限元法是60年代初期随着电子计算机的发展而发展起来的一种新的计算方法.有限元法在真空与低温工程中的应用之广、解决问题之快、精度之高与蒙特卡罗方法有过之而无不及.首先介绍了有限元法的基本思想.然后介绍了有限元法在各种真空压力侵溃、真空加压气淬、低温液体槽车、真空模拟设备的应力分析中的应用的可能性和计算步骤.并简介了在磁控溅射镀膜、溅射离子泵等设备的电磁场针算中的应用情况.掌握有限元法,用好电子计算机,是80年代真空与低温技术工作者的基本技能之一.