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高压力四极质谱计的设计和特性
康小录
,
胡炳森
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介绍了高压力四极质谱计的设计和特性。仪器的工作质量数范围为1~60原子质量单位。质谱扫描采用恒峰宽扫描方式。仪器的最大工作全压力大于0.1Pa,最小可检分压力低于1×10
-6
Pa,峰强稳定性在20min内优于1%,在质量数为40原子质量单位处的分辨本领达到250(50%峰高处的宽度)。滤质器杆长为50mm,离子进入四极场的入口孔径为1.5mm。仪器设计小巧,便于安装并耐400℃烘烤,适用于较高压力气氛的原位分析。
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