摘要: 用四极质谱计对一台全金属超高真空系统进行了残气分析.发现钛钽二极式溅射离子泵能有效地抽除惰性气体,但泵停止工作后会大量解吸惰性气体及甲烷;BA 规管电子轰击去气时系统内有大量 CO、CO₂和CH₄产生,同时有 O₂、N₂、H₂、Ar、Ne、He 等气体出现;德制 TVP—501型涡轮分子泵启动时可出现以机械泵油为主的严重返流,高温烘烤能有效地消除油污染.在10^-9帕下分析系统中的主要残余气体是苯、CO 和 CO₂.最后提供了一些典型实验结果,并且对其中某些现象进行了分析和讨论.