摘要: 在薄膜与界面性质研究中,重视组分的深度分布测量,即所谓的深度剖面分析。主要是指用离子轰击表面,将样品表面一层一层地溅射剥离,同时测量一种或多种组分随离子溅射表面的时间(即剥离深度)的变化.第一部分对离子束参数的选择作了论述。离子对样品表面的剥离速度,即溅射速率,与样品种类、离子种类、离子束流密度和能量、离子束入射角等因素有关。进行剖面分析时,应根据具体情况选定溅射速率.溅射速率的调整由改变离子束流密度来实现。第二部分介绍了间断溅射与连续溅射两种不同的方式,以及它们的区别和在不同情况下的选择应用.第三部分讲述能区选择,一般情况下在做俄歇部面分析时,能区应按实测的俄歇谱来确定,还可根据情况决定对所选能区做必要的修正。第四部分是定量组分剖面分析。第五部分是界面宽度与溅射剥离深度.第六部分是关于SIMS剖面的实验结果和说明.