摘要: 激光化学气相沉积是近几年发展起来的一种利用激光化学反应直接沉积微区薄膜的新技术,它分为激光热分解沉积和激光光分解沉积两大类.
首先介绍了这个方法的基本原理.它的基本理论是激光与物质的相互作用.涉及到大分子的光吸收激发、分子内部的能量转移、单步和多步光解离、表面附着与再燕发、表面扩散与分子团的形成、成膜机理等问题.
介绍了常用的激光光分解沉积法,激光热分解沉积法和复合沉积法的基本原理、实验装置.最后介绍了激光化学气相沉积法在沉积金属薄膜、氧化物薄膜、非晶硅太阳电池薄膜中的应用.并指出这个方法在工具钢表面上沉积碳化钛薄膜和Si₃N₄硬质薄膜中亦有一定的应用前景.