摘要: 以往研制的各种石英晶体膜厚监控仪.都不同程度的保留了模拟电路.不仅限制了频率检测的精度.而且未解决频率变化与质量厚度非线性关系所造成的测厚误差问题.SF-3A型石英晶体膜厚监控仪的主要设计思想是:提高晶体切角精度.采用孪生晶体技术,大大改善频温特性;选用小的电极面积和开孔.减小频漂:选择考毕兹振荡电路和二极管大讯号混频电路.以提高可靠性;检测电路都作数字化处理.提高检测精度.避开了频率变化与质量厚度非线性关系的问题.研制的SF-3A频漂小.运用温度范围宽.具有若干状态监测点和数据保护手段.性能指标达国外同类产品水平.介绍了仪器的电路原理和使用方法.